MEMS Express標準化製程平台

微機電元件長年以來都是公認高度多樣化且難以建立共通標準製程。微機電晶圓廠會根據客戶獨特的元件設計,開發專屬且穩健的晶圓製程,通常這個過程耗時超過一年。然而,部分類別產品在多年持續演進的過程中,其設計及製程需求漸趨相似乃至一致。

亞太優勢(APM)作為一家專業的微機電晶圓代工廠,為了幫助客戶以縮短開發時程、節省開發費用、實現快速回應市場需求,我們陸續統整並提出標準化製程平台。亞太優勢憑藉著豐富的微機電晶圓生產經驗,為適用此類標準化製程平台的微機電元件提供預設的製造加工流程和參數,與此同時仍然保留更改元件功能設計及添加其他性能的可能性和靈活性,我們稱之為「MEMS Express標準化製程平台」。

更進一步,APM將創建一系列基準製程參考規範,客戶只需檢查規格確保這些感測元件能夠滿足應用。搭配這樣的基準流程,設計只需極少或無需修改,就可以短時間內在APM實現量產。

 
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