失效分析
亞太優勢擁有的內部故障分析實驗室,能提供缺陷模式分析、失效製程問題排除與製程程式調配等多項支援。另外,亞太優勢與新竹科學園區內的多家材料分析公司合作,運用其更完善的分析設備與工具,廣泛進行精細故障分析與可靠度測試服務。這樣的緊密合作,使得亞太優勢在面對眾多客戶的不同需求時,能輕易並快速地提供所需製程分析能力,並有效提升品質。
掃描式電子顯微鏡
解析度: 1.0nm (15KV), 2.2nm (1.0KV)
光學倍率: 25~650,000 times
全自動電子光學
可裝載直徑200mm 試樣之樣品室
能量分散X光光譜分析儀
分析範圍: B5 ~U92 元素分析(矽晶圓基材)
定量與定性分析
解析度: 133 eV
強大X-ray 映像功能
原子吸收光譜分析儀
解析度: ppm (Flame), ppb (Furnace)
化學元素分析: K Na Fe Cu Cr Au Al Ti Ni Mn As Pd Tl In Ca Mg Pb Ag
化學溶液微量元素分析