2013年，全球MEMS代工業並未得到期望中的高速增長，只有少數代工廠取得了成功。在全球領先的MEMS代工廠中，純代工廠有TSMC、X-Fab，純MEMS代工廠有SILEX、APM、IMT、TRONICS。

從全球來看，中國MEMS產線投資何去何從？

2013年，全球MEMS代工業並未得到期望中的高速增長，只有少數代工廠取得了成功。從全球來看，MEMS代工業滯後於MEMS市場的發展，80%的銷售額屬於IDM。在全球領先的MEMS代工廠中，純代工廠有TSMC、X-Fab，純MEMS代工廠有SILEX、APM、IMT、TRONICS。目前，純代工模式在MEMS領域仍屬“非主流”。

中國MEMS產業化進程明顯滯後於西方發達國家，旺盛的MEMS市場需求與相對薄弱的產業形成反差。具有一定知名度和出貨量的本土MEMS企業仍然屈指可數，逐鹿中國市場的主要競爭者仍以跨國企業為主，產業迫切需要具有MEMS流片經驗的高端技術人才。

目前，國內MEMS代工廠主要有華潤上華、中芯國際、上海先進等，工藝開發是目前代工廠面臨的主要問題之一。單從硬件來看，海外成功的代工廠在設備上與國內代工廠不相上下。以APM為例， APM的MEMS代工全球排名前十，基礎設備為二手6英寸0.25um製程CMOS產線，後補充增加高深寬比反應離子刻蝕機，與國內動輒8英寸產線相比，大部分設備並不算非常先進。但海外代工廠的工藝開發能力遠優於國內代工廠。以台積電為例，工藝開發業務員約3000人，其中MEMS工藝開發佔10%，初步形成了基於特定產品的標準工藝。海外代工廠的開發速度較快，一般半年時間能形成穩定產能、較高良率，而國內代工廠通常則需要3-5年的時間。

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