近年來在消費性電子產品的帶動下，微感測器與致動器受到產學研界的高度重視，也投入大量的資金與人力進行相關技術的研發。台灣以優異的半導體產業環境，提供微機電產業良好的發展基礎與成長動能，而微感測器與致動器也被認為是擴展台灣半導體產業版圖的關鍵技術。由於微機電系統和元件具有機、電、熱、光、生醫功能多元化的特色，對傳統的半導體製造、封裝、和測試技術，也帶來許多新的挑戰。因此，國立清華大學在國科會的支持下，主導推動「微感測器與致動器產學聯盟」(Micro Sensors and Actuators Technology Consortium, uSAT)，以期整合學校與國家實驗室的資源和經驗，協助業界解決相關技術問題，提供設備的支援，技術的轉移，及人才的培育，以提升我國微感測器與致動器技術水準與國際競爭力。