亞太優勢微系統（APM）正式宣布推出全新全氮化矽AFM探針（All-Silicon Nitride, All-SiN），專為生物樣品、高分子材料及功能性薄膜等柔性與精細材料的影像量測需求所開發。

憑藉多年微機電（MEMS）製造經驗，APM採用晶圓級微製程技術生產高品質 AFM探針，兼顧可靠性能、可擴展量產能力與一致的產品品質。全氮化矽AFM探針（型號：BC70-GN）於潔淨室環境中，以APM自有晶圓級MEMS製程製造，適用於需要高度重複性與可靠度的研究與工業量測應用。

全氮化矽探針採用低作用力設計，將氮化矽懸臂梁與探針尖端整合於單一材料系統中，可在維持穩定成像性能與一致探針幾何結構的同時，提供溫和的表面互動。其典型特性包括適用於軟性樣品的低彈性常數懸臂梁(約0.1 N/m等級)、奈米級探針尖端幾何結構(小於40 nm等級)，以及背面鍍金反射塗層以支援光學偵測系統。

不同於傳統探針供應商，APM 透過晶圓級 MEMS 製造能力，為AFM OEM 廠商、AFM設備供應商與工業客戶提供可擴展量產、客製化設計及長期穩定供貨的完整支援。APM致力於提供兼顧性能、工業可製造性與成本效率的MEMS探針解決方案，並具備客製化製程整合、塗層與晶圓級結構設計的能力。

目前APM開放提供評估樣品，期望與AFM設備製造商與工業用戶攜手合作，拓展於生命科學成像、高分子材料分析、半導體表面量測及先進材料研究等應用領域。

展望未來，APM誠摯歡迎各界提出相關開發需求與合作機會，共同推動AFM探針技術的持續創新與應用拓展。

欲了解更多APM AFM探針產品資訊，請造訪：
https://www.apmsinc.com/eng/Foundry/process_more?id=b50f6019309d4327accf36d451a23629

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